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李暮微微沉吟,然后道:“这四项工艺是我对集成电路成果的逆推,比如薄膜沉积工艺,就是通过晶圆的表面具有各层电路结构倒推而出。
”
听完李暮的回答,下面的专家教授们一琢磨,发现好像还真有几分道理,于是又问道:“那么刻蚀呢?又因为什么?”
“在集成电路的形成过程中,需要光刻胶来复制掩膜图形,而刻蚀就是如何正确地选择清除不需要材料的工艺。
”
李暮笑道。
说完,他似是知道这些专家和教授们会继续发问,抢先一步开口道:“离子注入主要的作用是形成电阻,在芯片上起到导线和加热器的作用。
”
“这种技术,是我通过在传统扩散技术的基础进一步发散后想到的,没有经过实验检验,不一定准确。
”
“这里大胆提出,只是想趁着这个机会给各位专家教授提供一個思路。
”
在场的专家和教授们心底不由冒出的一个念头:“是够大胆!
”
但紧接着,他们又猛地发现:“不对劲啊,怎么说得好像很道理!
”
而且李暮的理论,几乎等于给他们搭建了一个相当明晰的集成电路工艺流程框架!
要知道像集成电路这种高精尖的前沿技术,国外都是严防死守,生怕被国内学去。
他们想要研究,只能从国外的期刊杂志上找到一些只鳞片甲的内容,再以此做基础展开实验。
整个过程,就是一步步试错,摸着石头过河。
“你再给我们说说这个离子注入工艺,你是怎么想的?”几个教授目光灼灼地看向李暮。
李暮这会儿已经快把资料看完了,闻言迅速定位要说的内容,整理一番后道:“离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料,叫做溅射;从固体材料表
面弹回,叫做散射;而在固体材料中停留下来,就叫离子注入。
”
“它的主要作用,就是对半导体材料进行掺杂,改变导电性能、光学性质和晶格结构。
”
他一边说,一边在小黑板上画图,方便下面的人理解。
等他说完,在场的专家教授们不由陷入一阵长久的沉默。
直到不知谁“啪啪”地带头鼓起掌,雷鸣般的掌声霎时响彻会场,经久不息。
这下李暮算是彻底在国内半导体界出了名。
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