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领着几位领导。
一行人踏入晶圆厂。
首先经过多次消杀、然后换防护等级极高的防护服,全副武装!
就算是眼睛,也隔着一层透明防护眼镜!
真正意义上武装到牙齿!
这可是晶圆厂,纳米级别的加工精度。
哪怕只是一粒尘埃,也会对晶圆造成巨大污染,直接导致整片晶圆报废。
且只能在外围参观、看一看。
隔着厚厚的玻璃!
还不如真正进入晶圆厂内部。
整个晶圆厂占地近300亩,大家参观的是比较核心区域。
不可能都去看一遍!
没有那个时间!
也有很多工艺、设备、流程,是根本看不到的。
“这就是‘光刻厂’吗?”
众人一路参观,终于到了第四代同步辐射装置旁边。
透过参观处,厚厚透明玻璃可以看到内部的一些情况。
一道道光束,经过多次折射后,被加以利用,对一片片晶圆进行纳米级别的光刻。
这就是:光刻厂!
随着第四代同步辐射装置完成建设,投入使用……登上第一新闻。
各种推测、科普,在网上都能看到。
‘光刻厂’也不是什么秘密。
只不过,至今为止,没几个人看到过‘光客场’究竟是什么?是如何工作的?
此刻,几位领导终于看到了传说中的:光刻厂!
李易在燕都、泸州第一代、第二代同步辐射光源验证‘光刻厂’技术的时候,见证了90nm、45nm技术的验证过程。
即便如此,此刻看着这代表全球最先进的第四代同步辐射装置,高能同步辐射光源打造的:光刻厂!
和之前燕都、泸州、甚至临海……那是完全不一样的技术。
更加成熟、更加先进、更加高效!!
赵教授和卢自强、梁松,介绍整个‘光刻厂’项目涉及的技术。
这方面,使用到了赵教授提出的技术设想。
梁松也为‘光刻厂’技术验证,真正落实生产芯片,做出了巨大贡献。
他们对整个‘光刻厂’项目最为了解。
哪怕是李易,也只是跟在内阁领导身边静静听,基本不发表什么言论。
一行人站在50多米长的巨大落地玻璃前,俯看‘光刻厂’的运行。
这个长长的落地玻璃,就是:观光用的。
站在这里,就能看到‘光刻厂’运行。
看到光束经过多次折射后,精准落在晶圆上。
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